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        產品詳情
        • 產品名稱:KOSAKA小坂微細形狀2D/3D表面粗糙度臺階儀ET200A-D

        • 產品型號: ET200A-D
        • 產品廠商:KOSAKA小坂臺階儀
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        簡單介紹:
        Kosaka小坂ET200A粗糙度三維6寸臺階儀總代 它是2D表面粗糙度分析和階梯測量的理想選擇,可實現高精度,高分辨率和出色的穩定性,并且還支持測量力小的軟樣品表面。 ET200A:表面粗糙度分析和階梯測量的理想選擇 ET200A-D:配備電動Y軸單元 ET200A-3D:<>D 表面粗糙度分析和階躍差測量的理想選擇
        詳情介紹:

        KOSAKA小坂微細形狀2D/3D表面粗糙度臺階儀ET200A-D

        設備特點
        KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統為多種不同表面提供**的形貌分析,包括
        半導體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、
        薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測量的方式來實現高
        精度表面形貌分析應用。ET200A 能**可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨
        損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。
        ET200A 配備了各種型號探針,提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭,彩色
        CCD 原位采集設計,可直接觀察到探針工作時的狀態,更方便準確的定位測試區域。


        它是2D表面粗糙度分析和階梯測量的理想選擇,可實現高精度,高分辨率和出色的穩定性,并且還支持測量力小的軟樣品表面。

        • ET200A:表面粗糙度分析和階梯測量的理想選擇
        • ET200A-D:配備電動Y軸單元
        • ET200A-3D:<>D 表面粗糙度分析和階躍差測量的理想選擇
        *大樣本量 Φ160×厚度52毫米
        再現性 1σ  0.3nm以內
        測量范圍 Z軸:600微米 X:100毫米
        分辨率 Z軸:0.1納米 X:0.1微米
        測量力 10μN~500μN
        規格
        一、樣品臺
        1. 樣品臺尺寸:φ160mm
        2. 大工件尺寸:φ200mm
        3. 大工件厚52mm
        4. 大工件重量:2kg
        5. 傾斜調整范圍:±2°(±5mm/160mm)
        6. 樣品臺材質:黑色硬質鋁
        7. 手動旋轉:360°(手動粗調)、±5°(微調,小約0.5°)
        二、傳感器(pick up
        1. 原理:直動式傳感器 (業界**)
        2. Z方向測定范圍:Max. 600μm
        3. Z方向小分辨率:0.025nm (2,000,000放大倍率時)
        4. 測定: 10uN ~500uN
        5. 觸針半徑:2 μm 60° 鉆石針頭 (另有多種可選)
        6. 驅動方式:直動式
        7. 再現性:1σ= 0.2nm (1um以下臺階時)
        三、軸 (基準軸/測量軸)
        1. 移動量(大測長)100mm (±50mm)
        2. 真直0.2μm/100mm(全量程)5nm/5mm (局部)
        3. 移動,測定速0.005~20mm/s
        4. 線性尺(linar scale)X方向分辨率 0.1μm
        5. 位置重復誤差:±5um
        四、Z軸:1. 移動量:54mm
        2. 移動速度:max.2.0mm/S
        3. 檢出器自動停止機能
        六、Y軸:(手動定位用)
        1. 移動量:25mm(±12.5mm
        、工件觀察
        1. 彩色1/3”CCDx4物鏡倍率
        2. 綜合倍率:約320倍 (使用19” monitor)
        3. 視野:1.2*0.9mm
        4. 觀察方向:右側斜視
        5. 照明:白色LED(可使用軟件調整明暗度)
        八、軟件功能簡介:
        1. 型號:i-STAR31
        2. 可設定測量條件菜單、重復測量設定、解析菜單
        3. 可設定下針座標,實現定位后自動測量及解析功能
        4. 可設定低通濾波,過濾噪音及雜訊
        5. 具有返回測量啟始點功能
        6. 顯示倍率:垂直方向50~2,000,000倍、縱方向1~10,000
        7. 解析功能:主要圖型、段差解析、粗糙度解析、內應力分析、內建多種段差解析菜單可
        九、床臺:一體花崗巖
        十、防振臺(選購)地型或桌上型
        十一、電源AC220V±10%50/60HZ300VA
        十二、本體外觀尺寸及重量
        W500×D440×H610mm, 120kg,一體花崗巖低重心結構

        (含防震臺)

        Kosaka小坂ET200A粗糙度三維6寸臺階儀總代




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