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產品名稱：小坂膜厚儀探針接觸臺階高度儀ET200A-3D
產品型號： ET200A-3D
產品廠商：KOSAKA小坂臺階儀
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簡單介紹：

國內總代日本小坂KOSAKA臺階儀微細形狀測定機ET200A-3D 能**可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。 ET200A 配備了各種型號探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD 原位采集設計，可直接觀察到探針工作時的狀態，更方便準確的定位測試區域。

詳情介紹：

日本小坂KOSAKA 臺階儀微細形狀測定機ET200A-3D 華東總代產品詳細信息

日本小坂KOSAKA 臺階儀 | 微細形狀測定機ET200A概述

ET200A基于Windows 操作系統為多種不同表面提供**的形貌分析，包括半導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現高精度表面形貌分析應用。ET200A 能**可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。 ET200A 配備了各種型號探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD 原位采集設計，可直接觀察到探針工作時的狀態，更方便準確的定位測試區域。

它是2D表面粗糙度分析和階梯測量的理想選擇，可實現高精度，高分辨率和出色的穩定性，并且還支持測量力小的軟樣品表面。

ET200A：表面粗糙度分析和階梯測量的理想選擇
ET200A-D：配備電動Y軸單元
ET200A-3D：<>D 表面粗糙度分析和階躍差測量的理想選擇

*大樣本量	Φ160×厚度52毫米
再現性	1σ 0.3nm以內
測量范圍	Z軸：600微米 X：100毫米
分辨率	Z軸：0.1納米 X：0.1微米
測量力	10μN~500μN

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產品名稱：小坂膜厚儀探針接觸臺階高度儀ET200A-3D