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產品詳情
簡單介紹：
UVISEL Plus In-Situ在線監控橢偏儀浙江供應UVISEL Plus在線監控橢偏儀可以很容易的安裝在各類反應腔（PECVD、MOCVD、磁控濺射、蒸鍍、ALD和MBE），實時監控薄膜沉積或刻蝕過程。UVISEL Plus在線橢偏儀結合了速度快、靈敏度高、動態范圍寬和準確等優點，使其能夠在原子層水平監控沉積/刻蝕，即使過程速度比較快也可實現。
詳情介紹：
UVISEL Plus In-Situ在線監控橢偏儀浙江供應
UVISEL Plus在線監控橢偏儀可以很容易的安裝在各類反應腔（PECVD、MOCVD、磁控濺射、蒸鍍、ALD和MBE），實時監控薄膜沉積或刻蝕過程。
UVISEL Plus在線橢偏儀結合了速度快、靈敏度高、動態范圍寬和準確等優點，使其能夠在原子層水平監控沉積/刻蝕，即使過程速度比較快也可實現。
采用新型適配器組件可以實現臺式設備和在線系統的切換。
UVISEL Plus在線橢偏儀使用DeltaPsi2軟件驅動，該軟件適用于HORIBA所有橢偏儀。DeltaPsi2具有眾多先進的建模和擬合處理功能，操作界面簡單，可為研究者提供便捷的橢偏分析手段。先進的通訊協議，TCP/IP和RS232已被設計用于生產環境和OEM。
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