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產品名稱：Auto SE - 自動化薄膜測量工具國內總代
產品型號： Auto SE
產品廠商：HORIBA堀場
產品價格：0
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簡單介紹：

Auto SE - 自動化薄膜測量工具國內總代Auto SE是一種新型薄膜測量工具。僅需簡單的幾個按鈕，幾秒鐘內即可自動完成樣品測量和分析，并提供完整的薄膜特性分析報告，包括薄膜厚度、光學常數、表面粗糙度和薄膜的不均勻性、反射率或透過率。

詳情介紹：

Auto SE - 自動化薄膜測量工具國內總代

光譜范圍：440-1000nm
光斑尺寸：7個尺寸微光斑全自動切換500x500 μm; 250x500 μm; 250x250 μm; 70x250 μm; 100x100 μm; 50x60 μm; 25x60 μm
探測系統：CCD，分辨率2nm
樣品臺：真空吸盤，Z軸行程40mm
光斑可視系統：CCD攝像機-視野1.33x1 mm-分辨率10μm
量角器：固定角70°，也可選擇66°或61.5°
多種附件可選
測試時間：<2s，常規為5s
準確性：NIST 100nm d ± 4?, n(632.8nm) ± 0.002
重復性：NIST 15nm ± 0.2 ?

Auto SE是一種新型薄膜測量工具。僅需簡單的幾個按鈕，幾秒鐘內即可自動完成樣品測量和分析，并提供完整的薄膜特性分析報告，包括薄膜厚度、光學常數、表面粗糙度和薄膜的不均勻性、反射率或透過率。

Auto SE全自動化設計、一鍵式操作，功能齊全。配備自動XYZ樣品臺進行成像分析，自動切換微光斑，多種附件可選，以滿足不同的應用需求。

Auto SE借助完整的操作向導，自動檢測并診斷問題，對故障進行處理，儀器維護簡單

Auto SE是用于快速薄膜測量和器件質量控制理想的解決方案。

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