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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
國內(nèi)總代ET4000L全新日本小坂KOSAKA臺(tái)階儀 這款全自動(dòng)微形狀測量機(jī)具有出色的精度、穩(wěn)定性和功能性，是測量 FPD 基板、晶圓、硬盤等的精細(xì)形狀、階差、粗糙度等的理想選擇。 此外，您可以從多種型號(hào)中進(jìn)行選擇，以滿足您的應(yīng)用需求。ET4000A： 多功能全自動(dòng)微形測量機(jī)ET4000L： 全自動(dòng)微形測量機(jī)，可處理大尺寸ET4000M：合理高性能的通用微形測量機(jī)
詳情介紹：
國內(nèi)總代ET4000L全新日本小坂KOSAKA臺(tái)階儀
這款全自動(dòng)微形狀測量機(jī)具有出色的精度、穩(wěn)定性和功能性，是測量 FPD 基板、晶圓、硬盤等的精細(xì)形狀、階差、粗糙度等的理想選擇。 此外，您可以從多種型號(hào)中進(jìn)行選擇，以滿足您的應(yīng)用需求。
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ET4000A： 多功能全自動(dòng)微形測量機(jī)
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ET4000L： 全自動(dòng)微形測量機(jī)，可處理大尺寸
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ET4000M：合理高性能的通用微形測量機(jī)
*大樣本量
210×210毫米、300×400毫米
再現(xiàn)性
1σ 0.5nm以內(nèi)
測量范圍
Z軸：100微米 X：100毫米（Y軸行程：150~400毫米）
分辨率
Z軸：0.1納米 X：0.01微米
測量力
0.5μN(yùn)~500μN(yùn)
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