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        產品詳情
        • 產品名稱:HORIBA崛場多量程多氣體數字控制器SEC-Z500X

        • 產品型號: SEC-Z500X
        • 產品廠商:HORIBA堀場
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        簡單介紹:
        國內總代HORIBA崛場多量程多氣體數字控制器SEC-Z500X 多量程/多氣體數字質量流量控制器 這是 HORIBA *暢銷的數字式質量流量控制器。它具有多量程/多氣體功能,用戶能夠快速方便地現場更改氣體類型或滿量程流量。該質量流量控制器具有高精度(+/- 1.0% 設定點)、壓電閥、高速響應和全金屬特性,可提高制程良率,簡化零件管理。支持數字/模擬、DeviceNet? 和 EtherCAT? 通信模式。
        詳情介紹:

        總代HORIBA崛場多量程多氣體數字控制器SEC-Z500X 國內各區域銷售


        • 高精度 ±1.0% 設定點
          該質量流量控制器的線性度由多項式近似曲線補償,并實現在所有流量控制范圍內的高精度。為提高實際氣體精度,不同工藝氣體的標定數據由 HORIBA STEC 公司的標準氣體測量系統測量。
        • 高速響應
          裝配“可變 PID 系統”,可在任意兩個設定點之間實現 1 秒響應。可變 PID 根據流量點設置不斷變化。在滿量程流量和氣體發生變化時優化 PID 系數。
        • 多氣體/多量程解決方案
          配置軟件可以快速方便地更改規格。一個重要特征是無需從氣體控制面板或管道上拆除質量流量控制器,即可進行更改。減少了所需的備用質量流量控制器的數量,節省時間和成本。

        外形尺寸



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