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產品詳情
簡單介紹：
總代HORIBA崛場壓力補償質量流量控制器SEC-Z700XSEC-Z700X 系列配備了可靠的熱傳感器和壓力補償功能，可實現穩定的流量控制。集成壓力測量降低了氣體輸送系統的成本、尺寸和復雜性。壓力補償新功能簡化了供氣系統。典型的多腔室氣體管線具有管線調節器、壓力傳感器和過濾器，以避免由壓力波動引起的質量流量控制器串擾現象。SEC-Z700X 系列可以不受上流和下流壓力的影響，提供穩定的流量控制。提供流量輸出、溫度和壓力讀數。
詳情介紹：
總代HORIBA崛場壓力補償質量流量控制器SEC-Z700X 國內各區域銷售
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多氣體/多范圍功能
客戶可以更改氣體類型和滿量程流量。 - 可變 PID 功能實現整個流量范圍內的高速響應（1 秒內）
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緊湊型氣體管線
無需調節器、傳感器和過濾器 - 穩定控制氣流，不受上流和下流壓力波動的影響。
- 集成入口壓力傳感器
- 集成多重顯示
- 確保 1% 設定點精度
- 超潔凈設計：金屬隔膜，全不銹鋼 SUS-316L 和拋光表面處理（標準）
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尺寸緊湊
50 SLM 以內采用相同的安裝尺寸 -
信號兼容
模擬/RS485 數字模式，DeviceNet? 通訊模式 -
網絡功能
數字信號控制
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