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產品名稱：MDCOM株式會社MEIRH-R-5-280間歇式準分子輻照系統
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產品廠商：MDCOM株式會社
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簡單介紹：

塔瑪薩崎電子銷售MDCOM株式會社MEIRH-R-5-280間歇式準分子輻照系統MEIR-S系列是帶有集成輻照室的準分子輻照裝置。輻照室的尺寸和形狀可根據客戶的樣品和輻照方法定制。也可以使用帶有滾輪輻照旋轉機構的輻照裝置。

詳情介紹：

塔瑪薩崎電子江蘇銷售MDCOM株式會社MEIRH-R-5-280間歇式準分子輻照系統

塔瑪薩崎電子上海銷售MDCOM株式會社MEIRH-R-5-280間歇式準分子輻照系統

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塔瑪薩崎電子無錫銷售MDCOM株式會社MEIRH-R-5-280間歇式準分子輻照系統

MEIR-S系列是帶有集成輻照室的準分子輻照裝置。
輻照室的尺寸和形狀可根據客戶的樣品和輻照方法定制。
也可以使用帶有滾輪輻照旋轉機構的輻照裝置。

參考規格

蘋果	XE（氙氣）準分子燈*1
波長	172納米
安裝的燈具數量	從1個*1開始的定制設計
有源發射長度	200毫米~750毫米 *2
光。。。。。。。。。。。。標準	70mW/c㎡以上（大氣和管面照度）*3
光。。。。。。。。。。。。高照度	120mW/c㎡以上（大氣和管面照度）*3
光。。。。。。。。。。。。內管水冷高照度	170mW/c㎡以上（大氣和管面照度）*3
照度均勻性	± 10% 以內
照射距離調節功能	2毫米~25毫米
N2流量計	是（*大流量取決于燈的數量）
CDA 流量計	是（*大流量取決于燈的數量）
石英燈拉出式窗口	是的
排氣設備	排氣鼓風機和臭氧過濾器
臭氧泄漏監測儀	選擇

■ 注
*1 燈管數量、有效長度、照射設備尺寸：定制*2 支持以10mm有效燈長為增量進行定制
。
*3 照明后立即測量大氣管表面（使用照度計C9536/H9535-172測量）

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產品名稱：MDCOM株式會社MEIRH-R-5-280間歇式準分子輻照系統