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        • 產(chǎn)品名稱:MDCOM 株式會社UV清洗裝置MEUT-3-500塔瑪薩崎電子

        • 產(chǎn)品型號:
        • 產(chǎn)品廠商:MDCOM株式會社
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        簡單介紹:
        MDCOM 株式會社UV清洗裝置MEUT-3-500塔瑪薩崎電子主要用途玻璃、薄膜、晶圓、光掩模等的清洗,表面改性CVD、涂布機、噴涂預(yù)處理 抗殘渣、有機物灰化
        詳情介紹:


        MDCOM 株式會社UV清洗裝置MEUT-3-500塔瑪薩崎電子主要用途玻璃、薄膜、晶圓、光掩模等的清洗,表面改性CVD、涂布機、噴涂預(yù)處理 抗殘渣、有機物灰化

        VUV清洗效果 清洗效果達到****的潔凈沉程度。PET薄膜從照射前的75.6度大幅降低到14.7度;原片玻璃從照射前的46.1度大幅降低到5度。一塵不染,潔凈如新。

        • 三大步驟

          除去有機物,增加表面的活性化、親水化;工件的粘著性和緊密性大幅度提高;UV清洗是不會破壞表面以及不會形成腐蝕孔的無損傷清洗方式。

          1

          切斷

          切斷有機物分子:172nm光子能量切斷有機物分子的結(jié)合(表面改質(zhì)?硬化)

          CmHnOK →Cm‘Hn ‘ Ok’

          2

          吸收與分解

          被氧吸收和分解:172nm被氧吸收,生成活性氧和臭氧,臭氧再分解生成活性氧 O2+hν→O (1D)O3+hν → O2+O (1D)

          3

          結(jié)合

          氧化分解為親水基:被切斷了化學(xué)結(jié)合的原子和活性氧結(jié)合,氧化分解、揮發(fā)后,生成親水基 CO2, H2O, OH-



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        參考規(guī)格

        蘋果 XE(氙氣)準分子燈*1
        波長 172納米 *1
        安裝的燈具數(shù)量 1*2起的定制設(shè)計
        有源發(fā)射長度 150毫米~2500毫米
        光。。。。。。。。。。。。 標準 70毫瓦/平方英寸以上 *4
        光。。。。。。。。。。。。 高照度 120毫瓦/平方英寸以上 *4
        光。。。。。。。。。。。。 內(nèi)管水冷高照度 170毫瓦/平方英寸以上 *4
        照度均勻性 ± 10% 以內(nèi)
        陣容
        梅特 標準照度(70mW/cm2),水冷系統(tǒng)(電源和燈座)
        梅烏塔 標準照度 (70mW/cm2),風(fēng)冷
        默斯 高照度(120mW/cm2),水冷系統(tǒng)(電源和燈座)
        默特 大面積體輻照裝置(帶石英窗)
        梅斯-WC 內(nèi)管水冷高照度(170mW/cm2)水冷系統(tǒng)(電源和燈座,內(nèi)管電極)
        *5
        ■ 注
        *1 波長選項:222nm
        *2 燈管數(shù)量、有效長度、照射設(shè)備尺寸:定制*3 支持以 10mm 燈管有效長度為增量進行定制
        。 對于有效長度為1700mm或以上,兩個燈以交錯排列的方式排列
        *2 點亮后立即測量大氣管表面(通過照度計C4/H9536-9535測量)*172 內(nèi)管冷卻需要純水(每盞燈5L/min)






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