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代理日本品牌：OTSUKA大塚電子（薄膜測厚儀、相位差膜設(shè)備等）、USHIO牛尾點(diǎn)光源、CCS檢查光源、Aitec艾泰克、REVOX萊寶克斯、ONOSOKKI小野測器、YAMATO雅馬拓、KOSAKA小坂臺(tái)階儀、SEN特殊光源、TSUBOSAKA壺坂電機(jī)、NEWKON新光、TOKISANGYO東機(jī)產(chǎn)業(yè)、tokyokeiso東京計(jì)裝、leimac雷馬克、MIKASA米卡薩勻膠機(jī)、COSMO科斯莫、SAKURAI櫻井無塵紙、TOE東京光電子、EYE巖崎UV燈管、SANKO山高、HOYA豪雅光源、日本IMV愛睦威地震儀、HOKUYO北陽電機(jī)、SAKAGUCHI坂口電熱、ThreeBond三鍵膠水等.
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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
臺(tái)階儀可以應(yīng)用在半導(dǎo)體，光伏/太陽能，光電子，化合物半導(dǎo)體，OLED，生物醫(yī)藥，PCB封裝等領(lǐng)域的薄膜厚度，臺(tái)階儀測量薄膜厚度,臺(tái)階高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），劃痕深度，磨損深度，薄膜應(yīng)力（曲定量率半徑法）等定量測量方面。其高精度，高重復(fù)性，自動(dòng)探索樣品表面
詳情介紹：
可以高精度自動(dòng)測量樣品尺寸高達(dá) 2200×2600 mm 的大型工件。 還有一個(gè)加載/卸載樣品的選項(xiàng)。
- 全自動(dòng)用于測量大型工件。
| *大樣本量 | 2200×2600毫米 |
|---|---|
| 再現(xiàn)性 | 1σ 1納米 |
| 測量范圍 | X：10毫米 Y：10毫米 |
| 分辨率 | Z軸：0.1納米 X：0.1微米 |
| 測量力 | 0.5μN(yùn)~500μN(yùn) |
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