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產品名稱：HAMAMASTU濱松激光驅動光源 (LDLS) EQ-400-RH-QZ-S
產品型號：
產品廠商：HAMAMASTU濱松
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簡單介紹：

塔瑪薩崎電子銷售HAMAMASTU濱松激光驅動光源 (LDLS) EQ-400-RH-QZ-S

詳情介紹：

特點

Extremely broad wavelength range：170 nm to 2500 nm
Long lifetime：10 000 hours
High radiance from a small plasma

光譜輻射照度

詳細參數

Parameter			Description / Value	Unit
Optical interface*1			Diverging beam (Single beam)	－
Wavelength range			170 to 2500	nm
Plasma size (FWHM)		Typ.	370 × 800	μm
Numerical aperture		NA	0.5	－
Lifetime*2		Typ.	10 000	h
Warm-up time			30	min
Laser class			Class 4	－
Spectral radiance(at 500 nm)		Typ.	110	mW/mm2·sr·nm
Broadband optical power		Typ.	15	W
Output window size			Φ22	mm
Window material*3			Quartz	－
Cooling method			Water cooling45	－
Nitrogen purge			Required. Grade 4.8 or higher, filtered to 5 μm. 20 psiG ±2 psiG	－
Applicable standards			EN 61010-1 EN 61326-1 IEC 60825-1 IEC 62471 EN 50581	－
Device configuration			Lamphead, Power supply controller, Necessary cables	－
Power rating	Input voltage (AC)		200 to 240	V
	Power frequency		50 / 60	Hz
	Power consumption		1700	W

*1 Dual-beam output mode can be selected as an option. See page 4 for detailed information.

*2 Windows may need to be replaced depending on the extent of contamination and usage conditions.

*3 BK7 (350 to 2500) windows are also selectable as options.

*4 Cooling water conditions

Lamphead: 1 L/min, 18 °C to 30 °C, 90 psiG (0.62 MPa) max. inlet pressure

Controller: 3 L/min to 4 L/min, 18 °C to 24 °C, 90 psiG (0.62 MPa) max. inlet pressure

*5 A chiller kit is available as an option.

外形尺寸圖（單位：mm）

Lamphead

Controller

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蘇公網安備 32050502000409號

產品名稱：HAMAMASTU濱松激光驅動光源 (LDLS) EQ-400-RH-QZ-S

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光譜輻射照度

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外形尺寸圖（單位：mm）

Lamphead

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