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產(chǎn)品中心

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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：代理AMAYA天谷制作所高生產(chǎn)率連續(xù)常壓CVD設(shè)備 AMAX800V
產(chǎn)品型號：
產(chǎn)品廠商：AMAYA天谷制作所
產(chǎn)品價格：0
折扣價格：0
產(chǎn)品文檔：

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簡單介紹：

● 8英寸/小時100張高通量 ●采用SiC托盤，可應(yīng)對重金屬污染，實現(xiàn)長期穩(wěn)定工藝 ●提高維護性氣相沉積設(shè)備

詳情介紹：

特點

通過改進輸送機制實現(xiàn)高吞吐量。

AMAX 型分散
頭中的 SiH，經(jīng)過優(yōu)化，可在低溫常壓下更有效地進行熱化學反應(yīng)4, PH3, B2H6和 O2分散后混合和表面反應(yīng)的后混合方法，
提供優(yōu)異的薄膜厚度均勻性和雜質(zhì)濃度均勻性。

SiC 托盤的采用使重金屬污染不難發(fā)生。此外，由于熱量，工藝性能
穩(wěn)定，老化較少。

標準配備托盤自動更換功能，可縮短操作員的**性和維護時間。
此外，通過采用自動提升頭底座的機制，可以輕松進行
清潔。

性能

薄膜厚度均勻性

≦±3.0%

支持的晶圓尺寸

（5 英寸）、6 英寸和 8 英寸

氣體種類

SiH4, O2, PH3, B2H6, N2

沉積溫度

350～430℃

生產(chǎn)力

~100張/小時

主要規(guī)格

設(shè)備尺寸 1460mm(W) x 3830mm(D) x 2250mm(H)

加熱機構(gòu) 電阻加熱

卸載機器人CtoC輸送

分散頭
（氣體噴嘴） AMAX 頭（標準 3 頭）

氣相沉積設(shè)備氣相沉積設(shè)備

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蘇公網(wǎng)安備 32050502000409號

產(chǎn)品名稱：代理AMAYA天谷制作所高生產(chǎn)率連續(xù)常壓CVD設(shè)備 AMAX800V

特點

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主要規(guī)格