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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：日本MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī) - SpinCoater -MS-B200密閉型
產(chǎn)品型號(hào)：
產(chǎn)品廠商：MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)
產(chǎn)品價(jià)格：0
折扣價(jià)格：0
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簡(jiǎn)單介紹：

■ 特點(diǎn) ■ MIKASA**的旋轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)不但可以達(dá)到5，000rpm以上的高速旋轉(zhuǎn)，且旋轉(zhuǎn)數(shù)精度全實(shí)現(xiàn)了 ±1rpm的高精度 ■ 可任意設(shè)定旋轉(zhuǎn)數(shù)（0~5，000rpm）和到達(dá)旋轉(zhuǎn)數(shù)的時(shí)間（0.2sec~999.9sec），因此可輕易地控制膜厚。 ■ 可追加滴下設(shè)備（MS-A150/MS-A200）

詳情介紹：

膜厚測(cè)量裝置

FILMETRICS制 F50

光刻劑

OFPR-800LB（東京奧卡制造）

基板尺寸

6 inch硅晶圓

目標(biāo)膜厚

1微米

膜厚分布

±0.6%

功能

■ 采用AC伺服電動(dòng)機(jī)
● 無(wú)刷式，不會(huì)造成無(wú)塵室汚染。
● 減少電動(dòng)機(jī)發(fā)熱，也減少因連續(xù)使用時(shí)的溫度上升造成對(duì)膜厚再現(xiàn)性的影響。
● 電力消費(fèi)低，減低環(huán)境的負(fù)擔(dān)。
■ 擴(kuò)張程序功能
● *多有100階段程序、可記憶10種模式，更容易使用。
■ 所有機(jī)型皆標(biāo)準(zhǔn)配備數(shù)字式真空計(jì)
■ 方形基板等可設(shè)定停止時(shí)位置，超方便
■ **裝置機(jī)構(gòu)（真空壓及蓋子）
● 由于薄膜或晶圓容易破裂，而降低吸附壓力時(shí)，可以變更**裝置機(jī)構(gòu)（真空）的稼動(dòng)壓力。

蘇州代理MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī) MS-B200密閉型
無(wú)錫代理MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī) MS-B200密閉型
昆山代理MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī) MS-B200密閉型
上海代理MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī) MS-B200密閉型
南京代理MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī) MS-B200密閉型
刷涂機(jī)、刮涂機(jī)、噴涂機(jī)

聯(lián)系人：李先生 13402684488（微信同號(hào)）

對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)

MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、
旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)
MS-B100、MS-B150、MS-B200、MS-B300、MS-B200（密封）、MS-B300（密封）

顯影刻蝕裝置

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蘇公網(wǎng)安備 32050502000409號(hào)

膜厚測(cè)量裝置	FILMETRICS制 F50
光刻劑	OFPR-800LB（東京奧卡制造）
基板尺寸	6 inch硅晶圓
目標(biāo)膜厚	1微米
膜厚分布	±0.6%

產(chǎn)品名稱：日本MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī) - SpinCoater -MS-B200密閉型