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產品詳情
簡單介紹：
■ 適用于所有特高壓應用
TG-MU系列旨在通過減少材料的放氣和提高氫氣壓縮效率，有效地將輕質氣體從高真空區域抽真空到超高真空區域。
極限真空可以在短時間內實現10-9 Pa順序（在10-11 Torr）區域。
詳情介紹：
應用
- 分析儀器，表面分析和特高壓研發。
- 特高壓半導體薄膜工藝和MEMS研發
- 能源研究、加速器、核聚變等
|
|
TG900MU |
TG1300MU |
|
Inlet flange |
CF160 |
CF200 |
|
Volume flow rate |
N2 (L/s)
|
900 |
1300 |
N2 (with protective
screen) (L/s)
|
860 |
1230 |
|
H2 (L/s)
|
1050 |
1200 |
|
Max. compression ratio |
N2
|
1×108
|
|
H2
|
6.0×104
|
||
Base pressure |
(Pa/Torr) |
< 1×10-8/< 7.5×10-11 |
|
Max. throughput※1
|
N2(sccm)
|
3000 |
|
Startup time (min) |
4-5 |
||
Shutdown time (min) |
4-5 |
||
Max. backing pressure |
(Pa/Torr) |
500/3.8 |
|
Recommended backing vacuum pump (L/min) |
≧250 |
||
Weight (kg) |
42 |
||
Controller |
TC010MA |
||
-
*1 ： 1000L/min的**真空泵。
-
*2 ： 尺寸與標準尺寸相同。
聯系人：李先生 13402684488（微信同號）
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