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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
L-OFM10062MN L-OFM14073MN L-O***0083MN L-O***5089MN L-OFM30093MN
L-OVM20117MN L-OVM20118MN-BS L-OVM50167MN L-OVM50170MN-BS
使用具有大量像素的線傳感器攝像機(jī)進(jìn)行檢查
平板顯示基板的精細(xì)圖案檢查
印刷電路板等的精細(xì)圖案檢測(cè)
半導(dǎo)體晶圓等的精細(xì)圖案檢測(cè)
詳情介紹：
| 類型表達(dá)式 | L-OVM20118MN-BS | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 使用放大倍率范圍 | -1x～-2x | |||||
| 放大倍數(shù) | -1x | -1.2x | -1.4x | -1.6x | -1.8x | -2x |
| 焦距 | 105.1mm（-1x） | |||||
| F 編號(hào)（∞） | F2.8 | |||||
| NA | 0.092 | 0.099 | 0.105 | 0.110 | 0.114 | 0.118 |
| 參考波長(zhǎng) | 546.07nm（e-line） | |||||
| 使用波長(zhǎng)范圍 | 400nm～700nm | |||||
| 圖像圓 | Φ86.4mm | |||||
| 對(duì)象大小 ※1 | Φ86.4mm | Φ72mm | Φ61.7mm | Φ54mm | Φ48mm | Φ43.2mm |
| 畸變畸變 ※1 | ＋0.2% | ＋0.1% | +0.0% | ＋0.0% | -0.0% | -0.0% |
| 周邊照度比 ※1 | 82.2% | 86.8% | 90.1% | 92.4% | 93.8% | 94.5% |
| 光圈刻度 | 2.8 4 5.6 8 11 | |||||
| 物體圖像間距離 | 443.8mm | 448.7mm | 458.6mm | 464.8mm | 486.7mm | 503.4mm |
| 工作距離 | 179.8mm | 162.1mm | 149.2mm | 139.3mm | 131.6mm | 125.3mm |
| 安裝 | M67（P=0.75） | |||||
| 法蘭背 | 107.3mm | 129.9mm | 152.6mm | 175.4mm | 198.3mm | 221.4mm |
| 過(guò)濾器尺寸 | M67（P=0.75） | |||||
| 外形尺寸 ※2 | Φ90mm x 156.8mm | |||||
| 質(zhì)量 | 約1750克 | |||||
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