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產品詳情
簡單介紹：
L-OFM10062MN L-OFM14073MN L-O***0083MN L-O***5089MN L-OFM30093MN
L-OVM20117MN L-OVM20118MN-BS L-OVM50167MN L-OVM50170MN-BS
使用具有大量像素的線傳感器攝像機進行檢查
平板顯示基板的精細圖案檢查
印刷電路板等的精細圖案檢測
半導體晶圓等的精細圖案檢測
詳情介紹：
| 類型表達式 | L-OVM20117MN | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 使用放大倍率范圍 | -1x～-2x | |||||
| 放大倍數 | -1x | -1.2x | -1.4x | -1.6x | -1.8x | -2x |
| 焦距 | 105.1mm | |||||
| F 編號（∞） | F2.8 | |||||
| NA | 0.092 | 0.099 | 0.105 | 0.109 | 0.113 | 0.117 |
| 參考波長 | 546.07nm（e-line） | |||||
| 使用波長范圍 | 400nm～700nm | |||||
| 圖像圓 | Φ86.4mm | |||||
| 對象大小 ※1 | Φ86.4mm | Φ72mm | Φ61.7mm | Φ54mm | Φ48mm | Φ43.2mm |
| 畸變畸變 ※1 | ＋0.2% | ＋0.1% | +0.1% | ＋0.0% | -0.0% | -0.0% |
| 周邊照度比 ※1 | 82.9% | 87.4% | 90.6% | 92.8% | 94.1% | 94.8% |
| 光圈刻度 | 2.8 4 5.6 8 11 | |||||
| 物體圖像間距離 | 434.9mm | 439.8mm | 449.6mm | 462.5mm | 477.6mm | 494.2mm |
| 工作距離 | 172.0mm | 154.3mm | 141.5mm | 131.7mm | 124.0mm | 117.7mm |
| 安裝 | M67（P=0.75） | |||||
| 法蘭背 | 106.2mm | 128.7mm | 151.3mm | 174.0mm | 196.8mm | 219.7mm |
| 過濾器尺寸 | M67（P=0.75） | |||||
| 外形尺寸 ※2 | Φ90mm x 156.8mm | |||||
| 質量 | 約1750克 | |||||
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