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代理日本品牌：OTSUKA大塚電子（薄膜測厚儀、相位差膜設(shè)備等）、USHIO牛尾點(diǎn)光源、CCS檢查光源、Aitec艾泰克、REVOX萊寶克斯、ONOSOKKI小野測器、YAMATO雅馬拓、KOSAKA小坂臺階儀、SEN特殊光源、TSUBOSAKA壺坂電機(jī)、NEWKON新光、TOKISANGYO東機(jī)產(chǎn)業(yè)、tokyokeiso東京計(jì)裝、leimac雷馬克、MIKASA米卡薩勻膠機(jī)、COSMO科斯莫、SAKURAI櫻井無塵紙、TOE東京光電子、EYE巖崎UV燈管、SANKO山高、HOYA豪雅光源、日本IMV愛睦威地震儀、HOKUYO北陽電機(jī)、SAKAGUCHI坂口電熱、ThreeBond三鍵膠水等.
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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
它是一個(gè)具有模式匹配功能和 2um 或更小的 XY 定位精度的系統(tǒng)。
詳情介紹：
- 支持集成到 Φ300mm EFEM 單元的備用端口
- 實(shí)現(xiàn)嵌入在晶片中的布線圖案的圖案對齊
- 支持半導(dǎo)體工藝的高吞吐量要求
- 支持槽口對齊功能
- 小尺寸規(guī)格
- TSV嵌入式圖形晶圓研磨后的硅厚度
- 晶圓厚度Φ300mm尺寸
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