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產(chǎn)品中心

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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：兼容裝載口的膜厚測量系統(tǒng)GS-300
產(chǎn)品型號： GS-300
產(chǎn)品廠商：OTSUKA大塚電子
產(chǎn)品價格：0
折扣價格：0
產(chǎn)品文檔：

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簡單介紹：

它是一種具有圖案匹配功能且XY定位精度為2um或更小的系統(tǒng)。

詳情介紹：

特殊長度

支持集成到Φ300mmEFEM單元的備用端口
實現(xiàn)晶圓中嵌入的布線圖案的圖案對齊
支持半導體工藝的高產(chǎn)量要求
支持缺口對齊功能
小尺寸規(guī)格

測量例

TSV嵌入式圖案晶片研磨后的硅厚度
晶圓厚度Φ300mm尺寸

電影

產(chǎn)品信息
規(guī)格
測量例

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