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產品詳情
簡單介紹：
Kosaka小板研究所微細形狀測定機ET200Kosaka小板研究所微細形狀測定機ET200Kosaka小板研究所微細形狀測定機ET200
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臺階儀微細形狀測定機
ET200
· 適用于二次元表面納米等級段差臺階測定、粗糙度測定。
· 高精度．高分解能，搭配一體花崗巖結構，安定的測量過程及微小的測定力可對應軟質樣品表面。
· 采用直動式檢出器，重現(xiàn)性高。
產品特點
| *大試片尺寸 | ?200mm×高度50mm |
|---|---|
| 重現(xiàn)性 | 1σ ≤ 1nm |
| 測定范圍 | Z:600μm X:100mm |
| 分解能 | Z:0.1nm X:0.1μm |
| 測定力 | 10μN~500μN (1mg-50mg) |
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