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代理日本品牌：OTSUKA大塚電子（薄膜測(cè)厚儀、相位差膜設(shè)備等）、USHIO牛尾點(diǎn)光源、CCS檢查光源、Aitec艾泰克、REVOX萊寶克斯、ONOSOKKI小野測(cè)器、YAMATO雅馬拓、KOSAKA小坂臺(tái)階儀、SEN特殊光源、TSUBOSAKA壺坂電機(jī)、NEWKON新光、TOKISANGYO東機(jī)產(chǎn)業(yè)、tokyokeiso東京計(jì)裝、leimac雷馬克、MIKASA米卡薩勻膠機(jī)、COSMO科斯莫、SAKURAI櫻井無塵紙、TOE東京光電子、EYE巖崎UV燈管、SANKO山高、HOYA豪雅光源、日本IMV愛睦威地震儀、HOKUYO北陽電機(jī)、SAKAGUCHI坂口電熱、ThreeBond三鍵膠水等.
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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
SF-3Rθ
OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)
搭載模式匹配功能，是X-Y定位精度2um以下的系統(tǒng)。OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3Rθ
詳情介紹：
SF-3Rθ
OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)
搭載模式匹配功能，是X-Y定位精度2um以下的系統(tǒng)。
特 長
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提供微細(xì)圖案，提供溫厚和各種厚度信息
實(shí)現(xiàn)高精度X-Y定位舞臺(tái)（注2μm以下），實(shí)現(xiàn)高精度的定位
MEMS和傳感器設(shè)備等對(duì)應(yīng)6英寸韋哈
（Options）：8和12英寸
除了晶片形狀以外也可以對(duì)應(yīng)
測(cè)定項(xiàng)目
- パターン付きウェーハ
- シリコンウェーハ、SiC、GaN、各種化合物ウェーハ
- テンポラリーウェーハ
スペック
スペック
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構(gòu)成図
測(cè)定例
■貼り合わせウェーハ（Si／ボンディング／サポート基板）
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Si膜厚分布（約25μｍ） |
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| ボンディング膜厚分布（約25μｍ） |
OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3Rθ
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