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        • 產(chǎn)品名稱:OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AA

        • 產(chǎn)品型號:SF-3AA
        • 產(chǎn)品廠商:OTSUKA大塚電子
        • 產(chǎn)品價格:0
        • 折扣價格:0
        • 產(chǎn)品文檔:
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        簡單介紹:
        SF-3AA OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng) 搭載模式匹配功能,是X-Y定位精度2um以下的系統(tǒng)。OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AAOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AAOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AA
        詳情介紹:
        SF-3AA

           OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)

        SF-3AA搭載模式匹配功能,是X-Y定位精度2um以下的系統(tǒng)。


        特 長
        • 提供微細(xì)圖案,提供溫厚和各種厚度信息

          實現(xiàn)高精度X-Y定位舞臺(注2μm以下),實現(xiàn)高精度的定位

          MEMS和傳感器設(shè)備等對應(yīng)6英寸韋哈

          (Options):8和12英寸

          除了晶片形狀以外也可以對應(yīng)

        測定項目
        • パターン付きウェーハ
        • シリコンウェーハ、SiC、GaN、各種化合物ウェーハ
        • テンポラリーウェーハ

        スペック

        スペック
        構(gòu)成図

        構(gòu)成図

        測定例

        ■貼り合わせウェーハ(Si/ボンディング/サポート基板)

        Si膜厚分布(約25um)

        Si膜厚分布(約25μm)
         

        ボンディング膜厚分布(約25um)
        ボンディング膜厚分布(約25μm)

         OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AAOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AAOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AAOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AAOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AAOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AA




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