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        產品詳情
        • 產品名稱:OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/1300

        • 產品型號:SF-3/1300
        • 產品廠商:OTSUKA大塚電子
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        簡單介紹:
         SF-3/1300 OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計 用非接觸的溫哈和樹脂的超高速實時、高精度的測量。OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/1300OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/1300OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/1300
        詳情介紹:
        SF-3/1300

           OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計

        用非接觸的溫哈和樹脂的超高速實時、高精度的測量。

        特長

        非接觸、非破壞可進行厚度測量

        反射光學系統(可以通過一方的接觸來測量)

        高速性(*快5ks)且可實時評價

        實現高的穩定性(重復精度0.01%)

        粗枝大葉

        可以對應任何距離

        對應多層結構(*大5層)

        內置NG數據的功能

        可以測量距離(形狀)(組入傳感器的附屬選項)*

        *根據測量范圍內的光學距離測量


         

        Point1:獨自の技術で

        幅広い範囲の膜厚に対応するとともに、高い波長分解能を実現。
        大塚電子獨自の技術をコンパクトボディに詰め込みました。

         

        Point2:高速対応

        移動する測定対象でも正確なピッチで測れるので、
        工場の生産ラインにも*適です。

         

        Point3:さまざまな表面狀態のサンプルに対応

        約φ20μmという微小スポットにより、
        さまざまな表面狀態のサンプルにおいても、厚み測定が可能です。

         

        Point4:さまざまな環境に対応

        *大200mmまで離れた位置からでも測定可能なため、
        目的や用途に応じた測定環境を構築可能です。

         

        測定項目
        • 厚み測定(5層)

         

        用途
        • 各種の厚膜部材厚み

         

        仕様

        SF-3仕様

        *1 : 測定條件および解析條件により*小サンプリング周期は異なります。 
        *2 : 製品出荷基準の保証値スペックとなり、當初基準サンプルAirGap約300μmと
                 約1000μm測定時の相対標準偏差( n = 20 ) 
        *3 : WD50mmプローブ仕様時の設計値
        *4 : 特別仕様 
        *5 : 薄膜測定時に使用 
        ※CE取得品はSF-3/300、SF-3/1300 


        基本構成

        測定例
             サポートウェーハ付き仮貼り合わせウェーハ 
        サポートウェーハ付き仮貼り合わせウェーハ
         

        マッピング結果 研削後300mmウェーハシリコン厚み

        マッピング結果
        研削後300mmウェーハシリコン厚み

         


        OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/1300OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/1300OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/1300OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/1300OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/1300

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