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產品名稱：UV照射裝置 ORC歐阿希 VUM-3500
產品型號：
產品廠商：ORC歐阿希
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簡單介紹：

UV照射裝置 ORC歐阿希 VUM-3500UV照射裝置 ORC歐阿希 VUM-3500UV照射裝置 ORC歐阿希 VUM-3500 ?????塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司系京都玉崎（日本）株式會社全資設立的中國子公司，自2014年成立以來，迅速崛起，專業從事國內貿易/國際貿易業務，主要經營光學設備、電子計測儀器、科學儀器、機械加工設備、環境試驗設備、PC周邊用品、作業工具用

詳情介紹：

低圧UVランプから放射する254nmのUVを利用し、プラズマ処理や、熱アニール処理工程などで、蓄積された電荷を効率よく除去し、素子の特性を改善します。　特性の改善により製品歩留まりの向上、信頼性の向上が期待できます。

◆ 特　徴

1．	フラッシュメモリやその他の不揮発性メモリ、イメージセンサなどのチャージ除去やデータ消去に有効です。
2．	半導體デバイスのトランジスタ特性の改善と安定化にも有効です。
3．	チャージイレースに*適なUV波長を、効率よく照射します。
4．	幅広い角度からUVを照射することで、効率よくチャージを除去します。
5．	対象ウェーハサイズは、１２インチ（標準）、１１インチ（オプション）となります。
6．	処理中のウェーハ溫度は100℃程度です。低溫で処理可能なため、ダメージを與えません。
7．	裝置は、裝置本體、ランプ電源ユニット、制御ユニットから構成されています。

◆ 仕　様

型式		VUM-3500	VUS-3300
処理ウエーハサイズ	12インチ	○	○
処理ウエーハサイズ	8インチ	OP	OP
同時処理枚數		15枚	3枚
スループット　※1		約48WPH	約24WPH
カセット形態		FOUP	FOUP
ウェーハ搬送		自動搬送	自動搬送
ランプ燈數		20本	4本
初期照度		45mW/cm²	45mW/cm²
照度測定		自動測定	自動測定
裝置サイズ		1140（W）× 2100（D）× 1850（H）	1360（W）× 2210（D）× 2700（(H）

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產品名稱：UV照射裝置 ORC歐阿希 VUM-3500