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日本OTSUKA大塚OPTM系列光學膜厚儀半導體多層膜測試橢偏儀

日期：2025-05-10 18:24

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顯微分光膜厚儀 OPTM SERIES

●非接觸 · 非破壞 · 顯微、對焦、測量1秒完成 ●OPTM系列顯微分光膜厚儀是一款可替代橢偏儀，測試膜厚、折射率n、消光系數k、**反射率的新型高精度、高性價比的分光膜厚儀。適用于各種可透光膜層的測試，并有****可針對透明基板去除背面反射，從而達到“真實反射率、膜厚”測試的目的。此外，軟件操作簡單、使用方便且簡化了復雜的建模流程

非接觸、非破壞式，量測頭可自由集成在客戶系統內

● 初學者也能輕松解析建模的初學者解析模式

● 高精度、高再現性量測紫外到近紅外波段內的**反射率，可分析多層薄膜厚度、光學常數（n：折射率、k：消光系數）

● 單點對焦加量測在1秒內完成

● 顯微分光下廣范圍的光學系統（紫外 ~ 近紅外）

● 獨立測試頭對應各種inline定制化需求

● *小對應spot約3μm

● ****可針對超薄膜解析nk

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