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        產品詳情
        • 產品名稱:國內直銷AMAYA天谷制作所MOCVD 設備; Doctor-TTM

        • 產品型號:
        • 產品廠商:AMAYA天谷制作所
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        簡單介紹:
        AMAYA天谷制作所MOCVD 氣相沉積設備; Doctor-TTM ? 8 英寸晶圓兼容 ? 可 沉積金屬氧化膜、金屬氮化膜等 ? 采用 磚利無氯氣化器 ? 擁有 4 種 MO 材料線 ? 單室/雙腔室 可選
        詳情介紹:
        概述

        配備獲得磚利的無氯氣化器,可形成各種有機金屬化合物。
        ● 4種MO原料分別通過流量控制同時氣化 , 因此成分比控制簡單 。
        薄膜厚度均勻性和嵌入性可進行良好的沉積。

        應用和實際示例

        金屬氧化膜: SBT/PZT/STO/BLT/BaTiO3/HfAlxOy/PGO/RuOx/IrOx/SRO/VO2/IGZO/BiOx 等
        ·金屬氮化膜:TaN/TiN/Ta3N5/Nb3N5/AlN 等
        ·金屬(化合物)膜:BiT/GST/SBTNb/Ti/Ta/Ru/Ir/B等

        特點

        ? 使用無氯氣化器連續沉積
        ,易于膜組成控制
        ,薄膜厚度均勻性好,植入性好

        氣相沉積設備
        規格
        設備主體尺寸
        (雙室)
        1800mm(D) x 3380mm(W) x 2200mm(H)
        加熱機構 電阻加熱
        卸載 集群室,機器人CtoC輸送
        氣體噴嘴 圓形

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