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產品名稱：日本MIKASA旋轉涂布機 - SpinCoater -MS-B200密閉型
產品型號：
產品廠商：MIKASA旋轉涂布機
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簡單介紹：

■ 特點 ■ MIKASA**的旋轉控制系統不但可以達到5，000rpm以上的高速旋轉，且旋轉數精度全實現了 ±1rpm的高精度 ■ 可任意設定旋轉數（0~5，000rpm）和到達旋轉數的時間（0.2sec~999.9sec），因此可輕易地控制膜厚。 ■ 可追加滴下設備（MS-A150/MS-A200）

詳情介紹：

膜厚測量裝置

FILMETRICS制 F50

光刻劑

OFPR-800LB（東京奧卡制造）

基板尺寸

6 inch硅晶圓

目標膜厚

1微米

膜厚分布

±0.6%

功能

■ 采用AC伺服電動機
● 無刷式，不會造成無塵室汚染。
● 減少電動機發熱，也減少因連續使用時的溫度上升造成對膜厚再現性的影響。
● 電力消費低，減低環境的負擔。
■ 擴張程序功能
● *多有100階段程序、可記憶10種模式，更容易使用。
■ 所有機型皆標準配備數字式真空計
■ 方形基板等可設定停止時位置，超方便
■ **裝置機構（真空壓及蓋子）
● 由于薄膜或晶圓容易破裂，而降低吸附壓力時，可以變更**裝置機構（真空）的稼動壓力。

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南京代理MIKASA旋轉涂布機 MS-B200密閉型
刷涂機、刮涂機、噴涂機

聯系人：李先生 13402684488（微信同號）

對準曝光機

MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、
旋轉涂布機
MS-B100、MS-B150、MS-B200、MS-B300、MS-B200（密封）、MS-B300（密封）

顯影刻蝕裝置

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蘇公網安備 32050502000409號

膜厚測量裝置	FILMETRICS制 F50
光刻劑	OFPR-800LB（東京奧卡制造）
基板尺寸	6 inch硅晶圓
目標膜厚	1微米
膜厚分布	±0.6%

產品名稱：日本MIKASA旋轉涂布機 - SpinCoater -MS-B200密閉型